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8寸多晶硅片
详细介绍:

1

外观

倒角准方片

目视

2

厚度

平均厚度

200 ± 20 μm

200 ± 5  μm

皇家体育app下载官网机

3

TTV

25 .0 μm

皇家体育app下载官网机

4

边长(对边距)

156.0 ± 0. 3  mm

直尺

5

直径

21 9.0 ± 1.0  mm

直尺

6

倒角

1.5 ± 0. 5  mm

菲林尺

7

倒角角度

45 ± 10

角尺

8

直角度

90 ± 0. 2

角尺

9

线痕

 1 0  μm

皇家体育app下载官网机、粗糙度仪

10

边缘缺陷

不允许

目视

11

V型缺口

不允许

目视

12

翘曲度

弯曲度

 50.0 μm

 40.0μm

塞尺、皇家体育app下载官网机

13

表面面状况

无目视可见杂质点、脏污、裂纹、穿孔;

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